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空气泵或真空泵、空气及其他气体压缩机、...
能在含UF6气氛中使用的真空泵(用耐UF6腐蚀的材料制成或保护。这些泵可以是旋转式或正压式,可有排代式密封和氟化合物密封并且可以有特殊工作流体存在)
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途(如半导体晶圆或平板显示屏制造用等);3:品牌(中文或外文名称);4:型号;5:抽气速率(m3/s或L/s);6:抽气量(Pam3/s或Pal/s);7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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能在含UF6气氛中使用的真空泵(耐UF6腐蚀的,也可用氟密封和特殊工作流体)
申报要素 » 0:品牌类型;1:出口享惠情况;2:用途(如半导体晶圆或平板显示屏制造用等);3:品牌(中文或外文名称);4:型号;5:抽气速率(m3/s或L/s);6:抽气量(Pam3/s或Pal/s);7:GTIN;8:CAS;9:其他;
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